Preview

Информационно-технологический вестник

Расширенный поиск

Дислокационно-динамический механизм проникновения примеси в глубь материала и результаты анализа «эффекта дальнодействия» при облучении полиэнергетическими пучками ионов

https://doi.org/10.21499/2409-1650-2016-3-119-132

Полный текст:

Аннотация

Рассмотрены различные модели поведения примеси в металле и предложен механизм аномально глубокого проникновения имплантируемой примеси в глубь материала, основанный на движении примеси в скоплениях дислокаций.

Об авторе

C. Е. Сабо
Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области «Технологический университет»
Россия


Список литературы

1. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Сабо С. Е. Метод облучения полиэнергетическим многокомпонентным пучком заряженных частиц - Тезисы докладов II Всесоюзная конференции «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц» // Свердловск. - 1991. - т. 1. - с.52-53.

2. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Сабо С. Е., Рыбалко, В. Ф., Толстолуцкая Г. Д., Копанец, И. Е., Завадская, Т. Ю. Применение полиэнергетического пучка ионов Ar+ со средней энергией Е=9.4 кэВ для легирования металлов методом «вбивания» атомов из покрытия. Тезисы докладов III Международная конференция «Модификация поверхности материалов пучками заряженных частиц» // Свердловск. - СПТИ. - 1993. - т. 1. - с.52-53.

3. Kalin, B. A., Gladkov, V.P., Volkov, N. V., Sabo, S. E., Atom Penetration A Thin Film Into Substrates During Sputtering By Polyenergetic Ar+ Ion Beam With Mean Energy Of The 9.4 keV. - XY Materials Research Society, Boston, USA, 1994 - p.214.

4. Калин, Б. А., Гладков, В. П., Волков, Н. В., Сабо, С. Е., Петров, В. И., Рыбалко, В. Ф., Толстолуцкая, Г. Д., Копанец, И. Е. Проникновение примесных атомов в материалы при воздействии полиэнергетическим пучком ионов аргона. - Известия РАН серия: Металлы. - 1994 г. - № 6. - с.69-73.

5. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Сабо, С. Е. Радиационная эрозия материалов при воздействии полиэнергетического многокомпоненого пучка ионов. Тезисы Y-Межнационального совещания «Радиационная физика твердого тела» // Севастополь. - 25.06. - 2.07.1995 г. - стр. 26.

6. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Сабо, С. Е., Рыбалко, В. Ф., Толстолуцкая, Г.Д., Копанец, И. Е., Завадская, Т. Ю. Применение полиэнергетического пучка ионов Ar+ со средней энергией Е=9.4 кэВ для легирования металлов методом «вбивания» атомов из покрытия. Тезисы докладов III Международная конференция «Модификация поверхности материалов пучками заряженных частиц» // Свердловск. - СПТИ. - 1993 - т. 1. - с.52-53.

7. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Сабо, С. Е., Аталикова, И. Х. Особенности легирования поверхности материалов атомами пленок при облучении полиэнергетическим пучком ионов аргона. Тезисы докладов YI Межнационального совещания «Радиационная физика твердого тела» // МГИЭМ. - 1996. - с.41-42.

8. Kalin, B. A. Volkov, N. V., Gladkov, V. P., Sabo, S. E., Atalikova, I. H., Altuhov, A. A., Ion Mixing in Film-Substrate Systems Under Polyenergetic Ar+ Ion Beam Irradiation, in book Ion-Solid Interaction For Materials Modification and Processing, Symposium Proceedings, Pittsburgh, Pennsylvania. - U.S.A. - 1996. - V.396. - pp. 871-876.

9. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Рыбалко, В. Ф., Толстолуцкая, Г. Д., Сабо, С. Е. Влияние атомных размеров системы «пленка-подложка» на процесс ионного перемешивания при облучении полиэнергетическим пучком ионов Ar+. Тезисы докладов «Международной конференции «Модификация поверхности материалов пучками заряженных частиц». - Томск, 1996.

10. Калин, Б. А., Гладков, В. П., Волков, Н. В., Сабо, С. Е. Проникновение атомов пленки в матрицу при распылении полиэнергетическим пучком ионов аргона со средней энергией 9.4 кэВ. Тезисы IY-Межнационального совещания «Радиационная физика твердого тела». - Севастополь. - 1994. - стр.21.

11. Kalin, B. A., Gladkov, V. P., Volkov, N. V., Sabo, S. E., Investigation The Results of Affect by Polyenergetic Beam of He+ and Ar+ Ions on Berillium, Copper, Vanadium. J.Plasma Device, 1996,V. 4 pp.223-244.

12. Калин, Б. А., Волков, Н. В., Сабо, С. Е. и др., Формирование ионно-легированного слоя для повышения эксплуатационных свойств циркониевых сплавов, V Научно-практическая конференция материаловедческих обществ России «Цирконий: металлургия, свойства, применение» Ершово. - Москва. - 2008. - с.41-43.

13. Клявин, О. В Дислокационно-Динамическая Диффузия в Кристаллических Телах. - Физика твердого тела. - том 35. - № 3 (1993). - с.513-541.

14. Мартыненко, Ю. В. Эффекты дальнодействия при ионной имплантации, Препринт ИАЭФ. - 1988г.

15. Халл, Д. Введение в дислокации // М.:, Атомиздат. - 1968г. - 277 с.

16. Новиков, И. И. Дефекты кристаллического строения металлов // М.: Металургия. - 1975г. - 208 с.

17. Fleisher, R. L., Acta Met., 9, 996 (1961).

18. Nabarro, F.R.N., Theory of Crystal Dislocation, Clareon Press, Oxford, 1967.

19. Seeger, A., Haasen P., Phil. Mag., 3, 470 (1958).

20. Saxl, J., Cz. J. Phys., B14, 381 (1964).

21. Nabarro, F.R.N., The Physics of Metals, vol.2, Ch. 4, ed.Hirch B., Cambridge Univ. Press, 1975.

22. Takeuchi, S., Scripta Met. 2, 481 (1968).

23. Судзуки, К., Тэньирон нюмонб изд-во Агунэ, 1967. (Яп.яз.).

24. Нориути, Р., Ёсинага, Х., Нихон киндзокугаку кайси, 29, 351 (1965).(Яп.яз.).

25. Cochardt, A. W., Schoek, G., Wiederich, H., Acta Met., 3, 533 (1955).

26. Schoek, G., Seeger, A., Acta Met., 7, 469 (1959).

27. Cottrell, A. H., Bilby, B. A., Proc.Phys. Sos., A62, 49 (1949).

28. Yoshinaga, H., Morozumi, S., Phil. Mag., 23 1351 (1971).

29. Ёсинага, Х., Нихон киндзокугакукай кайхо, 10, 519 (1971). (Яп.Яз.).

30. Судзуки, Т., Ёсинага, Х., Такеути, С. Динамика дислокаций и пластичность: Пер. с япон. // М.: Мир. - 1989.-296с., ил.

31. Yoshinaga, H., Morozumi, S., Phil. Mag., 23 1367 (1971).

32. Granato, A. V., Internal Friction and Ultrasonic Attenuation in Solids, ed. Hasiguti R.R. Tokyo Univ. Press, Tokyo, 1977, p.81.

33. Комаров, Ф. Ф., Новиков, А. П., Ионно-лучевое перемешивание при облучении металлов // Энергоатомиздат. - М:1998.

34. Perry, A. J., Treglio, J. R. The implantation affected zone (the lomg range effect) in metal ion implanted titanium nitride films, 1-st International Symposium 'Beam Technologies' (BT'95), Dubna, Russia, February 28- March 4, 1995.

35. Титов, В. В. Роль механических напряжений при легировании материалов с помощью ионных пучков, Препринт ИАЭ -3774/11 // М.,1983. - с.48.

36. Хирт, Дж., Лоте, И., Теория дислокаций // М.: Атомиздат. - 1972. - 599 с.

37. Эшелби, Дж. Континуальная теория дислокаций // М.: Мир. - 1963. - 248 с.

38. Фридель, Ж. «Дислокации» // М.: Мир. - 1967. - 644 с.


Для цитирования:


Сабо C.Е. Дислокационно-динамический механизм проникновения примеси в глубь материала и результаты анализа «эффекта дальнодействия» при облучении полиэнергетическими пучками ионов. Информационно-технологический вестник. 2016;9(3):119-132. https://doi.org/10.21499/2409-1650-2016-3-119-132

For citation:


Sabo S.E. Dislocation-dynamic mechanism of penetration of impurities deep into the material and the results of the analysis of «long-range effect» by irradiating multi-energy ion beams. Informacionno-technologicheskij vestnik. 2016;9(3):119-132. (In Russ.) https://doi.org/10.21499/2409-1650-2016-3-119-132

Просмотров: 58


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2409-1650 (Print)