Для цитирования: Ларионов Н.В. Покрытия из карбида кремния, полученные пиролизом монометилсилана, на реакционно-связанном карбиде кремния. Информационно-технологический вестник. 2018;15(1):137-144. https://doi.org/10.21499/2409-1650-2018-1-137-144

For citation: Larionov N.V. The coverings from silicon carbide received by pyrolysis of monomethylsilane on the reactionary and connected carbide of silicon. Informacionno-technologicheskij vestnik. 2018;15(1):137-144. (In Russ.) https://doi.org/10.21499/2409-1650-2018-1-137-144