Preview

Информационно-технологический вестник

Расширенный поиск

Химическое осаждение карбида кремния из газовой фазы монометилсилана на подложку-нагреватель в реакторе с холодными стенками

https://doi.org/10.21499/2409-1650-2019-1-153-160

Полный текст:

Аннотация

В условиях реактора с холодными стенками в интервале 720-1120 0С определена зависимость скорости химического осаждения карбида кремния из газовой фазы, образованной монометилсиланом, от температуры при давлении 50 Па. Проведены микроструктурные исследования покрытия. Изучено влияние скорости роста покрытия из карбида кремния на морфологию поверхности покрытия. Определен порог гомогенно-гетерогенной реакции образования карбида кремния.

Об авторах

Д. С. Бабкин
Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области «Технологический университет»
Россия

магистрант второго года обучения кафедры «Управление качеством и исследования в области новых материалов и технологий»

г. Королев, Московская область



И. А. Коломийцев
Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области «Технологический университет»
Россия

аспирант третьего года обучения кафедры «Управления качеством и стандартизации»

г. Королев, Московская область



А. Н. Тимофеев
Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области «Технологический университет»
Россия

доктор технических наук, профессор кафедры «Управление качеством и исследования в области новых материалов и технологий»

г. Королев, Московская область



Список литературы

1. Батов Д.В. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Дисс.канд. техн. наук // М.: Моск. гос. ин-т стали и сплавов. 2000. 138 с.

2. Габов А.В., Тимофеев А.Н., Абызов А.В. Химическое газофазное осаждение карбидокремниевых покрытий из метилсилана // Конструкции из композиционных материалов. 1999. № 1. С. 75–79.

3. Гнесин Г.Г. Карбидокремниевые материалы // М.: Металлургия. 1977. 216 с.

4. Емяшев А.В. Газофазная металлургия тугоплавких соединений // М.: Металлургия.1987. 208 с.

5. Лахин А.В., Богачев Е.А., Манухин А.В., Тимофеев А.Н. Газофазное осаждение карбида кремния из метилсилана при относительно низких температурах и давлениях // Известия высших учебных заведений. Цветная металлургия. 2006. № 1. С.55–58.

6. Лахин А.В., Манухин А.В., Тимофеев А.Н. Кинетические особенности процесса газофазного осаждения карбида кремния из метилсилана на пористую подложку. Известия высших учебных заведений. Черная металлургия. 2006. № 1. С. 67.

7. Лахин А. В. Процессы получения композиционных материалов и покрытий на основе карбида кремния химическим газофазным осаждением из метилсилана при относительно низких температурах и давлениях: Дисс. канд. техн. наук // М.: Моск. гос. ин-т стали и сплавов. 2006.

8. Патент РФ N 2130509 1999 г. Тимофеев А.Н., Богачев Е.А., Габов А.В., Абызов А.М., Смирнов Е.П., Персин М.И.

9. Тимофеев П.А. Формирование матриц композиционных материалов из карбидов, нитридов и боридов кремния методом пиролиза полимерных прекурсоров: Дисс.канд.техн.наук // М.: МГТУ им. Н.Э.Баумана. 2017. 126 с.

10. Handbook of Ceramic Composites // Narottam P. Bansal / Springer Science & Business Media. 2006. С. 61.

11. Handbook of chemical vapor deposition. Principles, Technology and Applications / by Hugh O. Pierson. – 2nd ed. 1999. p.506. ISBN 0-8155-1432-8.


Для цитирования:


Бабкин Д.С., Коломийцев И.А., Тимофеев А.Н. Химическое осаждение карбида кремния из газовой фазы монометилсилана на подложку-нагреватель в реакторе с холодными стенками. Информационно-технологический вестник. 2019;(1):153-160. https://doi.org/10.21499/2409-1650-2019-1-153-160

For citation:


Babkin D.S., Kolomiytsev I.A., Timofeev A.N. Chemical deposition of silicon carbide from the gas phase of monomethylsilane on the substrate-heater in the reactor with cold walls. Informacionno-technologicheskij vestnik. 2019;(1):153-160. (In Russ.) https://doi.org/10.21499/2409-1650-2019-1-153-160

Просмотров: 42


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2409-1650 (Print)