Preview

Информационно-технологический вестник

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Бабкин Д.С., Коломийцев И.А., Тимофеев А.Н. Химическое осаждение карбида кремния из газовой фазы монометилсилана на подложку-нагреватель в реакторе с холодными стенками. Информационно-технологический вестник. 2019;(1):153-160. https://doi.org/10.21499/2409-1650-2019-1-153-160

For citation:


Babkin D.S., Kolomiytsev I.A., Timofeev A.N. Chemical deposition of silicon carbide from the gas phase of monomethylsilane on the substrate-heater in the reactor with cold walls. Informacionno-technologicheskij vestnik. 2019;(1):153-160. (In Russ.) https://doi.org/10.21499/2409-1650-2019-1-153-160

Просмотров: 59


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2409-1650 (Print)